制氮机制取的氮气中的氧气含量小于0.5%时,可以用脱氧剂直接除氧；要是含氧量为0.5-3%时,应当用催化剂加氢除氧；要是含氧量大于3%时应当用分级催化进行除氧。
氮气中要是含氧过高,一次全部加入时,可能有爆炸的危险，必须严格控制加氢量进行分级除氧。原料氮气中含氧量过高时,亦可用部分纯氮稀释原料气,使混合气体中含氧量小于3%再进行加氢催化除氧。
采用脱氧剂清除杂质氧的典型工艺流程:氮气经催化除氧器(除去氧)，水冷却器和吸附干燥器(除去水汽)、气体过滤器(除去尘埃颗粒)后,即得纯氮产品。
当氮气中含氧量较大(大于3%) ,可采用分级加氢催化除氧工艺,氮气在进入催化除氧器前,需要严格控制加氢量,通过催化除氧器(一次除氧) ,再加入少量氢气进入催化除氧器2进行二次除氛。
制氮机在原料氮气中可以根据氧的含量,往里面添加过量的氢后能通过催化除氧器进行除氧，之后再通过电加热器和氧化反应将氮气中过量氢气除去。
