20世纪60年代初，变压吸附制氮装置实现了工业化生产。在此之前，低温蒸馏(深冷法)主要用于传统的工业空气分离工厂。自20世纪80年代以来，它已经通过了CaX和LiX与低温空气分离厂相比，其他具有吸附分离性能的沸石分子筛技术得到了快速发展，PSA启动时间短，停车方便，能耗低，自动化程度高，维护方便。中小型(100吨/天以下)不需要高纯氧Nm3/h)在氧气生产中，比极冷法更具竞争力。变压吸附制氮机装置广泛应用于电炉炼钢、有色金属冶炼、玻璃加工、甲醇生产、炭黑生产、化肥气体生产、化学氧化工艺、纸浆漂白、污水处理、生物发酵、水产养殖、医疗、军事等领域。40多年来，变压吸附空分制氧技术的研究进展主要体现在两个方面：作为空分制氧吸附剂和吸附理论的研究，其次是空分制氧工艺循环的研究。
虽然国内对这项技术的研究起步很快，但长期以来发展缓慢。20世纪90年代，变压吸附制氧设备的优势逐渐得到认可。近年来，各种工艺设备相继投产，给各行业带来了巨大的经济效益。变压吸附制氮装置的变压吸附方法是什么？
吸附分离利用吸附剂只分离特定气体吸附和分析能力的差异。为了促进这一过程，常用的压力法和真空法。利用分子压力吸附分离空气制造氧气的机器之一是利用分子筛分离氧气和氮气的吸附亲和力大于氧气的吸附亲和力。其次，在碳分子筛微孔系统的狭缝中，氧的扩散速度快于氮的扩散速度，因此氧氮可以在偏离平衡的状态下分离。
变压吸附氧在室温下进行。其工艺包括压力吸附/常压分析或常压吸附/真空分析，通常采用沸石分子筛氧和碳分子筛氮。20世纪90年代，中国PSA/VPSA氧气制造设备逐渐系列化。近年来，锂基分子筛的性能更加稳定高效，得到了越来越多的大规模应用，实现了单变压器吸附装置的大规模生产，产量高达40700m3/h，氧气纯度90%。
