制氮机为晶圆制造厂供应各种超高纯度气体，上海制氮机厂家2020年其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功，上海制氮机厂家与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约，目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台，第二台预计将于2022年上线启用。
制氮机位于上海临港产业区，其安装和运行工作由上海制氮机厂家过程与装备研究所负责。该制氮机将为积塔半导体造价高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体（如氮气、氧气、氩气、二氧化碳）以及压缩干空气（CDA）。
贾工表示：“中国半导体行业的发展水平和产能将持续增长。我们在中国拥有分布密集的业务网络，有助于我们获得长期且可持续性的项目，进一步奠定在电子行业的领导地位。长久以来，上海制氮机厂家在工业用气供应方面拥有安全可靠的良好记录，对此我们深感自豪，同时我们也倍感荣幸，有机会为积塔半导体的发展出自己的一份力。”
上海制氮机厂家变压吸附制备氮气的装置取得了国家发明专利，属于拥有自主知识产权保护的专利技术产品。制氮机技术曾先后荣获部级中国船舶总公司优秀发明二等奖；浙江省新产品金龙奖；上海华谊集团科技成果大奖赛三等奖；上海市企业创新二等奖；上海市优秀发明二等奖。
